





净化工程的施工要安装<施工组织设计>、<洁净室施工及验收规范>、<---生产管理规范>等规则制度。净化工程施工前,要严格安装洁净室施工程序制定详细的施工计划,严格的施工、做好验收记录。净化工程的用料,都要符合要求,标准,合格证明方可使用。北京普汇建设工程有限公司可以为客户提供集设计、采购、施工、系统维护于一体的全方面服务。

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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

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