





对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。压力差的维持依靠新风量,实验室净化价格,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

自净时间(恢复期)控制规定:净化室中意外释放出来或带到污染物质或气体气旋的断开或正常使用后的间断性热对流气旋或人及机器的挪动等都会导致洁净度等级的恶变,恢复正常原先洁净度等级的自净时间取决于气旋速率;对自净时间控制标准在于此时长框架下(加重的洁净度等级下),对产品制造的品质及产出率影响承受力。

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