对于直径为100um的硅片，食品车间建设每平米多少钱，温度上升1度，引起0.24um的线膨胀，所以有0.1度的恒温，同时要求湿度值低，因为人出汗后，会对产品造成污染，尤其是怕钠的半导体车间。
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